先锋精科：公司陶瓷加热器已进入量产准备阶段 良率超80%

(资料图)

先锋精科董事长、总经理游利在今日举行的公司业绩会上表示，公司陶瓷加热器产品在客户端认证已取得重大进展，已进入量产准备阶段，主要客户包括中微公司、北方华创等长期合作伙伴，主要应用在薄膜沉积等为主的设备和工艺环节。陶瓷加热器在试验线上的良率超80%、量产线有信心稳定在85%以上，与海外竞品相比具备显著的成本优势。静电卡盘目前尚处于研发阶段，公司争取2027年出样品测试。

标签： 先锋精科 公司 量产 陶瓷 加热器 阶段